Nel settore all'avanguardia della fabbricazione di semiconduttori, qualsiasi lieve cambiamento nell'ambiente di produzione può avere un impatto decisivo sulla qualità del prodotto.Come produttore professionale con anni di esperienza nel settore delle attrezzature di depurazione, Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. comprende profondamente la posizione centrale del controllo della differenza di pressione del flusso d'aria nei locali puliti dei semiconduttori.analizzeremo in modo completo le soluzioni di controllo della differenza di pressione del flusso d'aria per le stanze pulite dei semiconduttori, aiutando a creare un ambiente produttivo stabile ed efficiente.
Controllo della differenza di pressione del flusso d'aria: la linea di difesa chiave nella produzione di semiconduttori
Resistere all'invasione degli inquinanti
Il processo di fabbricazione dei chip semiconduttori è estremamente delicato.possono causare gravi problemi come cortocircuiti e circuiti aperti nei chip.Prendiamo come esempio il processo di litografia dei chip avanzati. La larghezza della linea sui chip ha raggiunto il livello nanometrico. Una particella di polvere con un diametro di solo 0.1 micrometro è sufficiente per causare deviazioni nel modello litograficoCon una costruzione ragionevole della differenza di pressione del flusso d'aria e mantenendo la stanza pulita in uno stato di pressione positiva, gli inquinanti esterni possono essere efficacemente bloccati,costruire una barriera protettiva invisibile per la produzione di chip.
Garantire un funzionamento stabile del processo
La produzione di semiconduttori comprende una varietà di processi complessi come la litografia, l'incisione e il doping.e puliziaUna differenza di pressione stabile del flusso d'aria può garantire che i parametri ambientali di ciascuna zona siano sempre mantenuti entro la gamma richiesta dal processo.fornendo una solida garanzia per il buon andamento del processoNel processo di incisione, se il flusso d'aria è instabile, la distribuzione del gas di incisione sarà irregolare.che porta a velocità di incisione incoerenti e influisce gravemente sulla precisione di incisione e sulla qualità del prodotto delle truciole.
Soluzioni di controllo delle differenze di pressione del flusso d'aria per creare uno spazio di produzione puro
Divisione scientifica dell'area e impostazione precisa della differenza di pressione
- Area di produzione centrale: In questo settore vengono effettuati processi chiave quali la litografia, l'incisione e il doping, dove le esigenze di pulizia e di pressione positiva sono estremamente elevate.Si raccomanda che la pressione nella zona di produzione centrale sia di 15 - 25 Pa superiore a quella delle zone ausiliarie adiacenti., riducendo al minimo il rischio di invasione di inquinanti esterni e garantendo che il processo di produzione dei chip non sia disturbato dall'inquinamento.
- Area di produzione ausiliaria: aree ausiliarie quali la zona di stoccaggio temporaneo dei materiali e la zona di manutenzione delle attrezzature, sebbene i requisiti di pulizia siano leggermente inferiori a quelli della zona di produzione principale,ancora bisogno di mantenere una certa pressione positivaIn genere,è 5 - 10 Pa più elevato di aree come i corridoi ordinari per evitare che gli inquinanti nei corridoi entrino nell'area ausiliaria e mettano in pericolo l'ambiente dell'area di produzione principale.
- Passaggi di personale e materiale: Per i passaggi in cui il personale e i materiali entrano ed escono dall'officina, è necessario regolare attentamente un gradiente di differenza di pressione ragionevole per formare un effetto di blocco d'aria efficace.Quando si entra nell' area pulita dall' area non pulita, la pressione aumenta gradualmente ad ogni porta passata, agendo come strati di punti di controllo, bloccando efficacemente l'ingresso degli inquinanti nella stanza pulita insieme al personale e ai materiali.
Selezione di attrezzature avanzate per ottenere un controllo preciso
- Sensori di pressione ad alta precisione: I sensori di pressione ad alta precisione sviluppati in modo indipendente dalla Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. hanno prestazioni eccellenti.che può catturare con precisione le variazioni di pressione in ogni area del laboratorio in tempo reale, garantendo che le fluttuazioni di pressione anormali siano immediatamente rilevate e fornendo una solida base per adottare tempestivamente contromisure.
- Sistema di controllo della ventilazione intelligente: Questo sistema è strettamente collegato a sensori di pressione di alta precisione, in base ai valori di differenza di pressione preimpostati, può regolare automaticamente e con precisione la velocità del ventilatore e l'apertura della valvola,ottenere un controllo intelligente e raffinato del flusso d'ariaUna volta rilevato che la pressione in una determinata zona è inferiore al valore impostato, il sistema reagisce rapidamente.aumentare automaticamente il volume di alimentazione dell'aria o ridurre il volume di scarico dell'aria per ripristinare rapidamente la pressione al livello normale.
Manutenzione e gestione complete per proteggere continuamente la stabilità della differenza di pressione
Calibrazione e manutenzione regolari per garantire le prestazioni dell'apparecchiatura
Calibrare rigorosamente i sensori di pressione ogni sei mesi per garantire l'accuratezza e l'affidabilità dei dati di misura.effettuare regolarmente un'ispezione completa delle apparecchiature di ventilazione, controllare attentamente se le ruote dei ventilatori sono usurate, se le valvole possono aprirsi e chiudersi normalmente, ecc.,e sostituire tempestivamente i componenti invecchiati o danneggiati per garantire che l'apparecchiatura sia sempre nelle migliori condizioni di funzionamento.
Formazione professionale per migliorare le capacità del personale
svolgere una formazione sistematica sul controllo delle differenze di pressione del flusso d'aria per il personale dell'officina;consentire loro di comprendere approfonditamente l'importanza del controllo della differenza di pressione e i metodi di gestione di situazioni anormaliQuando si verifica un allarme di differenza di pressione, il personale può analizzare rapidamente le possibili cause, come guasti dell'attrezzatura e perdite di condotte,e adottare tempestivamente contromisure efficaci per garantire la continuità e la stabilità della produzione in officina.
Analisi approfondita dei dati e ottimizzazione continua delle soluzioni
Costruire un sistema professionale di monitoraggio dei dati sulla differenza di pressione del flusso d'aria e condurre analisi approfondite dei dati di pressione accumulati a lungo termine.I potenziali problemi possono essere individuati con precisioneAd esempio, se la pressione in alcune zone oscilla frequentemente, può essere dovuto a guasti dell'attrezzatura o una distribuzione dell'aria irragionevole,e quindi possono essere effettuate regolazioni di ottimizzazione mirate per migliorare continuamente le soluzioni di controllo della differenza di pressione del flusso d'aria.
Con profonda accumulazione tecnica e ricca esperienza di progetto, Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. can not only provide high - quality purification equipment but also customize a full - range of airflow pressure difference control solutions and complete post - maintenance services for your semiconductor cleanroomSe avete intenzione di costruire una stanza pulita per semiconduttori o se incontrate problemi durante il funzionamento di un laboratorio esistente, non esitate a contattarci.Lavoriamo insieme per creare un ambiente di produzione pulita di semiconduttori leader nel settore e contribuiamo allo sviluppo dell'industria dei semiconduttori.