Ultimo caso aziendale su Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. Certificazioni

Nel campo all'avanguardia della produzione di semiconduttori, qualsiasi minima variazione nell'ambiente di produzione può avere un impatto decisivo sulla qualità del prodotto. In qualità di produttore professionista con anni di esperienza approfondita nel settore delle apparecchiature di purificazione, Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. comprende profondamente la posizione centrale del controllo della differenza di pressione del flusso d'aria nelle camere bianche per semiconduttori. Oggi, analizzeremo in modo completo le soluzioni di controllo della differenza di pressione del flusso d'aria per le camere bianche per semiconduttori, aiutandovi a creare un ambiente di produzione stabile ed efficiente.

Il processo di fabbricazione dei chip a semiconduttore è estremamente delicato. Una volta che inquinanti come particelle di polvere e microrganismi vengono mescolati, possono causare seri problemi come cortocircuiti e circuiti aperti nei chip. Prendiamo ad esempio il processo di litografia dei chip a processo avanzato. La larghezza della linea sui chip ha raggiunto il livello nanometrico. Una particella di polvere con un diametro di soli 0,1 micrometri è sufficiente a causare deviazioni nel modello di litografia, con conseguente scarto del chip. Costruendo ragionevolmente la differenza di pressione del flusso d'aria e mantenendo la camera bianca in uno stato di sovrapressione, gli inquinanti esterni possono essere efficacemente bloccati, costruendo una barriera protettiva invisibile per la produzione di chip.

La produzione di semiconduttori comprende una varietà di processi complessi come litografia, incisione e drogaggio. Ogni processo ha requisiti diversi per temperatura, umidità e pulizia ambientale. Una stabile differenza di pressione del flusso d'aria può garantire che i parametri ambientali di ogni area siano sempre mantenuti entro l'intervallo richiesto dal processo, fornendo una solida garanzia per il regolare progresso del processo. Nel processo di incisione, se il flusso d'aria è instabile, la distribuzione del gas di incisione sarà irregolare, portando a velocità di incisione incoerenti e influenzando seriamente la precisione di incisione e la qualità del prodotto dei chip.

• Area di produzione principale: I processi chiave come litografia, incisione e drogaggio vengono eseguiti in quest'area. Qui, i requisiti di pulizia e sovrapressione sono estremamente elevati. Si consiglia che la pressione nell'area di produzione principale sia superiore di 15-25 Pa rispetto a quella nelle aree ausiliarie adiacenti, riducendo così al minimo il rischio di invasione di inquinanti esterni e garantendo che il processo di fabbricazione dei chip non sia disturbato dall'inquinamento.
• Area di produzione ausiliaria: Aree ausiliarie come l'area di stoccaggio temporaneo dei materiali e l'area di manutenzione delle apparecchiature, sebbene i requisiti di pulizia siano leggermente inferiori a quelli dell'area di produzione principale, devono comunque mantenere una certa sovrapressione. Generalmente, è superiore di 5-10 Pa rispetto ad aree come i corridoi ordinari per impedire agli inquinanti nei corridoi di entrare nell'area ausiliaria e mettere in pericolo l'ambiente dell'area di produzione principale.
• Passaggi per il personale e i materiali: Per i passaggi in cui il personale e i materiali entrano ed escono dall'officina, è necessario impostare attentamente un ragionevole gradiente di differenza di pressione per formare un efficace effetto di blocco d'aria. Quando si entra nell'area pulita dall'area non pulita, la pressione aumenta gradualmente con ogni porta attraversata, agendo come strati di posti di controllo, bloccando efficacemente gli inquinanti dall'entrare nella camera bianca insieme al personale e ai materiali.

• Sensori di pressione ad alta precisione: I sensori di pressione ad alta precisione sviluppati indipendentemente da Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. hanno prestazioni eccellenti. La loro precisione di misurazione può raggiungere ±0,1 Pa, che può catturare accuratamente le variazioni di pressione in ogni area dell'officina in tempo reale, garantendo che le fluttuazioni di pressione anomale vengano rilevate immediatamente e fornendo una solida base per l'adozione di contromisure tempestive.
• Sistema di controllo della ventilazione intelligente: Questo sistema è strettamente collegato a sensori di pressione ad alta precisione. In base ai valori di differenza di pressione preimpostati, può regolare automaticamente e con precisione la velocità della ventola e l'apertura della valvola, ottenendo un controllo intelligente e raffinato del flusso d'aria. Una volta che rileva che la pressione in una determinata area è inferiore al valore impostato, il sistema reagirà rapidamente, aumentando automaticamente il volume di alimentazione dell'aria o riducendo il volume di scarico dell'aria per ripristinare rapidamente la pressione al livello normale.

Calibrare rigorosamente i sensori di pressione ogni sei mesi per garantire l'accuratezza e l'affidabilità dei dati di misurazione. Allo stesso tempo, condurre regolarmente un'ispezione completa delle apparecchiature di ventilazione, controllare attentamente se le giranti della ventola sono usurate, se le valvole possono aprirsi e chiudersi normalmente, ecc., e sostituire tempestivamente i componenti invecchiati o danneggiati per garantire che l'apparecchiatura sia sempre nelle migliori condizioni operative.

Eseguire una formazione sistematica sulla conoscenza del controllo della differenza di pressione del flusso d'aria per il personale dell'officina, consentendo loro di comprendere a fondo il significato del controllo della differenza di pressione e i metodi di gestione delle situazioni anomale. Quando si verifica un allarme di differenza di pressione, il personale può analizzare rapidamente le possibili cause, come guasti alle apparecchiature e perdite di tubazioni, e adottare tempestivamente contromisure efficaci per garantire la continuità e la stabilità della produzione in officina.

Costruire un sistema professionale di monitoraggio dei dati sulla differenza di pressione del flusso d'aria e condurre un'analisi approfondita dei dati di pressione accumulati a lungo termine. Attraverso l'analisi dei dati, è possibile rilevare con precisione i potenziali problemi. Ad esempio, se la pressione in alcune aree fluttua frequentemente, potrebbe essere dovuto a guasti alle apparecchiature o a una distribuzione dell'aria irragionevole, e quindi è possibile apportare modifiche di ottimizzazione mirate per migliorare continuamente le soluzioni di controllo della differenza di pressione del flusso d'aria.

Con una profonda accumulazione tecnica e una ricca esperienza progettuale, Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. può non solo fornire apparecchiature di purificazione di alta qualità, ma anche personalizzare una gamma completa di soluzioni di controllo della differenza di pressione del flusso d'aria e completare i servizi di post-manutenzione per la tua camera bianca per semiconduttori. Se hai intenzione di costruire una camera bianca per semiconduttori o incontri problemi correlati durante il funzionamento di un'officina esistente, non esitare a contattarci. Lavoriamo insieme per creare un ambiente di produzione pulito per semiconduttori leader del settore e contribuire allo sviluppo dell'industria dei semiconduttori.