Ultimo caso aziendale su Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. Certificazioni

Nelle industrie di fascia alta come la produzione di semiconduttori, la biomedicina e l'elettronica di precisione, la stabilità ambientale delle stanze pulite determina direttamente la resa del prodotto, la consistenza del processo,e affidabilità della ricerca.

Per soddisfare i requisiti di controllo sempre più severi, laMAU + FFU + DCC (Unità di aerogenerazione + unità di filtro del ventilatore + unità di bobina secca)L'architettura è diventata la soluzione principale per le moderne sale pulite.temperatura, umidità, pulizia e pressione, migliorando significativamente l'efficienza energetica e la flessibilità operativa.Questo articolo spiega in modo sistematico le tecnologie di controllo chiave del sistema MAU + FFU + DCC e illustra come il coordinamento multidimensionale crea un sistema di controllo stabile., ambienti di lavanderia ad alte prestazioni.

Il sistema MAU + FFU + DCC adotta unastrategia gerarchica di trattamento dell'aria, in cui ciascun sottosistema svolge una funzione specifica:

• Regolamento primario della temperatura e dell'umidità
• G4 + F8 filtrazione in più fasi
• Fornitura stabile di aria condizionata esterna

• Filtrazione HEPA o ULPA
• Trasmissione unidirezionale del flusso d'aria
• Supporta ambienti da ISO classe 5 a ISO classe 1

• Taglio a temperatura locale
• Compensazione rapida dei carichi di calore delle apparecchiature
• Garantisce una distribuzione uniforme della temperatura ambiente

Insieme, questoPreprocessamento → Purificazione → Controllo preciso"L'architettura offre maggiore precisione, flessibilità ed efficienza energetica rispetto ai sistemi HVAC centralizzati tradizionali.

La variazione della temperatura è un rischio critico nella produzione di precisione.0.1°Cpuò influenzare l'allineamento dei modelli.

Il sistema MAU + FFU + DCC consente un controllo della temperatura su più livelli:

MAU ️ Regolamento primario

• Controllo PID adattivo delle bobine di riscaldamento e raffreddamento
• Stabilità della temperatura dell'aria fresca entro± 0,5°C
• Risposta dinamica alle variazioni di carico

FFU ️ Ottimizzazione del flusso d'aria

• Disposizione uniforme della matrice
• Velocità tipica della faccia:00,3 ‰ 0,5 m/s
• Riduce la stratificazione termica e i punti caldi locali

DCC Compensazione del calore in tempo reale

• Terme da strumenti di litografia, bioreattori, apparecchiature di incisione
• Regola il flusso di acqua fredda immediatamente
• Mantenere l'uniformità della temperatura ambiente all'interno± 0,2°C

Riferimento del caso
Un semiconduttore da 12 pollici realizzato± 0,1°CStabilità della camera dopo l'implementazione di un controllo MAU DCC coordinato, migliorando il rendimento litografico di circa3%.

L'umidità influenza direttamente la scarica elettrostatica, la corrosione, la crescita microbica e la stabilità del processo.

MAU ️ regolazione dell'umidità principale

• Altre apparecchiature per la produzione di energia elettrica
• Condensazione o deumidificazione a rotazione
• Precisione di controllo fino a± 2% RH

Esempio:I laboratori di liofilizzazione richiedono in genere30 ∼ 40% RHper evitare l'assorbimento dell'umidità.

FFU Distribuzione uniforme

• Elimina le zone stagnanti e gli angoli morti
• Previene l'accumulo locale di umidità elevata

Coordinamento MAU + DCC

• UMA controlla l'umidità assoluta
• DCC regola la temperatura della bobina
• Temperatura della superficie della bobina mantenuta1°2°C sopra il punto di rugiadaper evitare la condensazione

La pulizia rimane l'indicatore fondamentale di prestazione di qualsiasi stanza pulita.

Pre-filtrazione MAU

• Filtro primario G4
• F8 filtro a medio rendimento
• Rimuove le particelle di grandi dimensioni e protegge la durata della FFU

Filtrazione terminale della FFU

• HEPA: ≥ 99,97% @ 0,3 μm
• ULPA: ≥ 99,999% @ 0,12 μm
• Supporta la classe ISO 5 e superiore

Organizzazione del flusso d'aria

• Flusso verticale unidirezionale
• Copertura FFU:60 ‰ 100%
• Crea un effetto stabile del pistone, spingendo i contaminanti verso le griglie di ritorno dell'aria

Referenza di prestazione
Al00,45 m/svelocità del flusso d'aria, la concentrazione di particelle ≥ 0,5 μm può essere ridotta a
< 35 particelle/ft3 (classe ISO 5).

La pressione positiva garantisce che le aree pulite rimangano protette da contaminazioni esterne.

Controllo del volume dell'aria fresca (MAU)

• Sensori di pressione differenziale monitorano la pressione ambiente
• Differenze di pressione tipiche:10 ̊30 Pa

Zonazione gerarchica

• Tra le zone di classe ISO 5 e di classe ISO 7
• Gradiente di pressione:5 ‰ 10 Pa

Protezione in caso di emergenza

• Alarmi automatici innescati in caso di calo di pressione
• I ventilatori di riserva si attivano immediatamente.
• Previene la contaminazione in condizioni anormali

I moderni sistemi MAU + FFU + DCC integrano l'automazione intelligente per precisione ed efficienza.

• Monitoraggio in tempo reale di oltre 30 parametri
• Analisi delle tendenze e memorizzazione dei dati storici
• Visualizzazione centralizzata del sistema

Quando un utensile ad alto carico inizia a funzionare, il sistema:

• Aumenta la capacità della bobina di raffreddamento
• Aumenta l'uscita DCC
• Restaura la stabilità ambientale all'interno10 secondi.

Monitoraggio continuo di:

• Corrente del motore FFU
• Caduta della pressione del filtro
• Performance della bobina DCC

Permette la rilevazione precoce di:

• Invecchiamento motorio
• Intasamento del filtro
• Resistenza anormale al flusso d'aria

L'ottimizzazione basata sull'intelligenza artificiale regola:

• Quantità di esercizio delle FFU
• Rapporto di aria fresca
• Corrispondenza del carico di temperatura e umidità

Il risultato:Risparmio energetico del 20-30%, specialmente nelle grandi fabbriche di semiconduttori.

• U.A.M.:prova dell'inverter, resistenza del filtro, risposta T/H
• FFU:Uniformità del flusso d'aria (± 10%), prova di perdita HEPA, rumore ≤ 65 dB
• DCC:accuratezza del flusso d'acqua (± 5%), verifica dello scambio termico

• Condizioni estreme simulate
• Contatori di particelle ad alta precisione (0,1 μm)
• 50+ punti di monitoraggio con registrazione di 10 secondi

• Controllo della FFU variabile durante il funzionamento a carico parziale
• Cicli tipici di sostituzione del filtro:
  • Primario: 1 ¢3 mesi
  • Medium: 6-12 mesi
  • HEPA: 2 ¢ 3 anni

Il...MAU + FFU + DCCIl sistema di cleanroom rappresenta una transizione dalla conformità di base al controllo ambientale intelligente e snello.

Attraverso una gestione coordinata di temperatura, umidità, pulizia,Questa architettura offre la stabilità e la precisione necessarie per la produzione di semiconduttori., la biotecnologia e altre applicazioni di fascia alta.

Come fornitori di soluzioni di ingegneria per ambienti puliti, offriamo:

• Progettazione del sistema
• Selezione delle attrezzature
• Integrazione di controllo intelligente
• Immissione in servizio e ottimizzazione
• Supporto completo del ciclo di vita

Se state progettando o aggiornando una stanza pulita ad alta precisione, il nostro team di ingegneri è pronto ad aiutarvi a raggiungereprestazioni di controllo ambientale di livello mondiale.