Ultimo caso aziendale su Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. Certificazioni

Asala pulita per semiconduttoriè un ambiente altamente controllato progettato per ridurre al minimo la contaminazione durante la produzione di microchip, circuiti integrati (IC) e altri componenti elettronici.Perché anche particelle microscopiche possono causare difetti o perdita di rendimento, i locali puliti sono indispensabili per la fabbricazione di semiconduttori ad alta precisione.

• Concentrazione di particelle ultra-basse(classe ISO 1 ̊9)

• Controllo preciso di temperatura e umidità(fino a ± 0,1 °C)

• Sistemi avanzati di filtrazione dell'aria(filtri HEPA e ULPA)

• Protezione da scarica elettrostatica (ESD)

Queste strutture sono conformi a norme internazionali quali:ISO 14644-1per la classificazione delle stanze pulite eSEMI S2 / SEMI S8per la sicurezza e l'ergonomia delle apparecchiature.

La produzione di semiconduttori richiede in genereClasse ISO 1?? 5ambienti, a seconda della sensibilità del processo:

• Norme SEMI: definire la compatibilità delle apparecchiature e l'affidabilità operativa (ad es.SEMI F47per l'immunità alla flessione di tensione).

• Norma federale 209E (Legacy): ex norma statunitense per le stanze pulite, ora sostituita dalla norma ISO 14644.

• Flusso d'aria unidirezionale (laminare): schemi di flusso d'aria verticali o orizzontali che spazzano continuamente le particelle lontano dalle zone critiche del processo.

• Sistemi di ricircolo ad alta efficienza: in genere riutilizzare oltre il 90% dell'aria mediante filtrazione HEPA/ULPA in più fasi.

Requisiti di abbigliamento

• Classe ISO 1°3: abiti da coniglio con maschere, occhiali e guanti

• Classe ISO 5·6: abiti parziali, come cappucci e guanti

Limitazioni materiali

• Utilizzomateriali non versanti e a bassa emissione di gascome acciaio inossidabile, alluminio anodizzato e PTFE

• Evitazione di materie plastiche o tessuti generatori di particelle

• Stabilità del pavimento: costruzione di lastre isolate con limiti di vibrazione inferiori a1 ‰ 2 μm, perIEST-RP-CC012

• Protezione da interferenze elettromagnetiche (EMI): Protegge gli strumenti sensibili per la litografia e la metrologia dal rumore elettrico esterno

Un singoloParticolato di 20 μmpuò distruggere unStruttura del transistor a 5 nmLe stanze pulite riducono significativamente:

• Perdita di rendimento (che può superare50%in ambienti non controllati)

• Rischi di contaminazione incrociata, quali la diffusione involontaria di ioni metallici

• Riduzione del tempo di inattività: Ambienti più puliti riducono i difetti dei wafer e i cicli di rielaborazione

• Rispetto della normativa: Supporta standard quali:IEEE 1680per una produzione elettronica sostenibile e responsabile

I locali puliti per semiconduttori sono:ambienti progettati con precisioneLa Commissione ha adottato una proposta di regolamento (CE) del Consiglio che modifica il regolamento (CE) n.Norme ISO, SEMI e IEST, le sale pulite consentono la fabbricazione su scala nanometrica con difetti minimi e rendimento massimo.

Mentre le geometrie dei semiconduttori continuano a ridursi, le tecnologie delle stanze pulite si stanno evolvendo rapidamenteMonitoraggio delle particelle basato sull'IA,controlli ambientali intelligenti, esistemi modulari per sale pulite.

Per i produttori di semiconduttori, l'investimento in ingegneria delle stanze pulite certificate non è facoltativo: è essenziale per sostenere l'innovazione, la qualità e la competitività globale.